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1964/年
第四十八研究所成立
1978/年
LC-1离子注入机等荣获多项全国科学大会奖
1976/年
GK系列扩散炉大规模供应市场
1980/年
LC系列离子注入机获第四机械部科技成果一等奖
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1982/年
研制出离子束刻蚀机
1984/年
WW-1型微机控制液相外延炉、LK-2型离子束刻蚀机、DT-1型电子束退火设备获电子部科技进步一等奖
1988/年
LC系列离子注入机获第四机械部科技成果一等奖LC系列离子注入机获第四机械部科技成果一等奖
1990/年
研制出WGK-1型全自动扩散系统
1992/年
研制出21米全自动氮气氛保护推板窑并获国家新产品证书、机电部科技进步奖
1995/年
研制出强流离子注入机并获电子部科技进步一等奖；研制出LD-4型多离子束共溅射镀膜机并获电子部科技进步一等奖
1983/年
研制出国内实用化的DB-3型电子束曝光机
1985/年
FW-1型分子束外延设备、液态金属离子源获电子部科技进步一等奖
1989/年
研制出国内辊道推板式磁性材料烧结窑
1991/年
PECVD-425型多室连续淀积设备、硅分子束外延设备等多项设备获机电部科技攻关重大成果奖
1994/年
研制出发光二极管自动封装机并获电子部科技进步二等奖
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1996/年
研制出国内双功能TEOS-CVD系统和国内首台36米氮窑；荣获全国CAD示范工程单位称号
1998/年
研制出国内用于8″工艺线的扩散氧化系统32+12米氮窑
2000/年
开发出用于高档磁性材料烧结用的大容量钟罩式气氛烧结炉
2002/年
全自动扩散系统、等离子刻蚀机、网带式烧结炉等批量装备国内太阳能电池（6″方片）生产线
2004/年
管式PECVD开始应用于太阳能行业生产线；钟罩式气氛烧结炉、44米全自动氮气氛保护单、双推板窑获中国电子科技集团公司科学技术二等奖；热壁式PECVD成功应用于具有国际先进水平的无锡尚德太阳能电池生产线；传感器新产品通过鉴定达国际先进水平
2006/年
100nm 8″大角度离子注入机成功应用于中芯国际IC生产线；高效节能的新型氮气氛保护推板窑产销两旺；等离子体刻蚀机走出国门销往新加坡；高低温炉/Ⅲ型PECVD/闭管扩散炉研发成功并批量投放市场；北京25MW太阳能电池生产线建成投产
2008/年
特种传感器首次成功应用于我国载人航天工程；太阳能光伏装备具备整线"交钥匙工程"能力；拉晶、铸锭、切片、电池片、组件封装与应用、太阳能光伏电站完整产业链建成；湖南一期100MW太阳能电池生产线竣工投产、二期100MW太阳能电池生产线完成建设
2010/年
1000MW完整晶体硅太阳能光伏产业链建成投产；5000吨新型储能材料产业链建成投产
1997/年
研制出28米全自动氮气氛保护推板窑获电子部科技进步二等奖
1999/年
研制出国家"863"计划光电子领域关键设备--全自动GaP液相外延系统并获国家重点新产品证书，成功应用于LED大生产线
2001/年
自行开发的钟罩式气氛烧结炉、全自动单推板窑出口到法国、伊朗等地
2003/年
集成电路科技攻关项目电子束曝光机、大束流离子注入机、LPCVD、四管全自动扩散系统通过验收，成功应用于国内IC生产线
2005/年
扩散/氧化系统成功进入香港市场；GaN基MOCVD设备研发成功；第二代太阳能专用扩散炉、等离子体刻蚀机、PECVD、烘干/烧结炉大批量供应市场
2007/年
湖南50MW太阳能电池生产线竣工投产；硅材料加工用单晶炉、铸锭炉研发成功并批量投放市场
2009/年
90-65纳米12″大角度中束流离子注入机推向市场；丝网印刷/检测分选设备研发成功并推向市场
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2011/年
暂无资料......
