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离子注入机

离子注入机

离子注入机是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。

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