每一次艰难创新求索都始于心中坚定信仰心系“国家事”、肩扛“国家责”48所广大科技工作者不畏艰难，坚决攻克每个挑战坚守初心，竭力追求精益求.. [ 详情 ]
微电子与半导体装备
CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积）指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。
第三代宽紧带半导体SiC材料的同质外延生长。
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