应用于HgCdTe材料外延生长。
恒温区长,温度稳定;
悬臂承舟,运动无摩擦,无粉尘污染;
拉舟外延,定位精度高。
工艺温度:800℃、1100℃;
恒温区精度:±0.5℃;
反应室极限真空度:≤1.0×10-3Pa。