水平液相外延炉

核心卖点


产品简介

应用于HgCdTe材料外延生长。

产品特点

恒温区长,温度稳定;

悬臂承舟,运动无摩擦,无粉尘污染;

拉舟外延,定位精度高。

技术参数

工艺温度:800℃、1100℃;

恒温区精度:±0.5℃;

反应室极限真空度:≤1.0×10-3Pa。


应用范围