NV-75型分子束外延系统
核心卖点
产品简介
占地面积小， 多种配置选择， 为研发用户提供深度定制化方案。
产品特点
生长室
·极限真空5E-11Torr
·最大3英寸衬底
·8个源炉口
·可选E-gun系统
·衬底最高加热至1200°c
·高度客户定制化
缓冲室
· 极限真空5E-10Torr
· 可选集成式高温除气台
· 可选独立预处理室
· 易于扩展
· 线性手动／自动传输
进样室
· 快开门设计
· 可装载7片晶圆
· 红外灯管加热
· 晶圆升降电动控制