适用于大规模量产用户， 全自动线性传输， 多生长室真空互联
生长室
· 极限真空5E-11Torr · 4x6英寸/批或 9x4英寸/批 · 12个源炉口
缓冲室 · 极限真空5E-10Torr · 可选集成式高温除气台 · 可选独立预处理室 · 易于扩展，多腔互联 · 全自动传输
进样室 ·快开门设计 ·可装载10片晶圆 ·红外灯管加热 ·晶圆升降电动控制
