RSP-6000 平板式PVD

核心卖点

产品简介

设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积。

产品特点

膜块化设计，便于安装以及产能升级;

满足不同温度沉积ITO薄膜，工艺扩展性强;强控旋转阴极靶快速镀膜技术，靶材利用率高;
分区加热和控温，具有出色的控温系统和控温性能。

技术参数

应用范围


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