薄膜氢敏芯体

　　采用MEMS工艺，在芯片上制备Pd合金氢敏电阻和薄膜电容、Au加热器和Pt温度传感器，利用钯合金氢敏材料与氢气接触之后，钯合金薄膜电阻率或电容产生变化，通过信号调理电路解析钯合金薄膜电阻或电容变化与氢气含量的关系，从而实现对氢气浓度的测量。

　　1、对氢气专一性好，稳定性高，测量范围宽，响应时间短；
　　2、工作时无需氧气环境，工作温度低，工作寿命长等优点。

　　测量范围：10ppm～100%
　　工作温度：60～100℃
　　准确度：2%FS
　　响应时间：1～15s
　　工作寿命：10Y

　　用于制作氢气传感器测量密闭舱、煤矿井下通道安全、电力系统变压器维护、新能源燃料等氢气含量。