离子注入机是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类..
扩散/氧化/退火炉主要用于集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的氧化、扩散..
CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应..
PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子..