立式炉设备马拉松跑片测试取得阶段性进展，设备稳定性得到进一步验证！
晶圆传输系统的稳定性是衡量立式炉质量的重要因素。立式炉装调保障团队通过反复试验，建立设备晶圆传输系统测试数据库，调整运动系统，优化控制算法，校准晶圆传输过程中各运动部件间的位置关系，提高晶圆传输精度和稳定性，设备生产效率大幅提升。
马拉松跑片测试是业界常规的稳定性检测手段。立式炉装调保障团队坚守岗位，科学分工，白班夜班轮流值守，确保立式炉设备连续运行，顺利通过马拉松跑片测试，为设备交付打下了坚实基础。立式炉装调保障团队将继续奋斗，为48所快速稳定高质量发展贡献力量，以实干实绩迎接党的二十大胜利召开！
