分子束外延系统
分子束外延系统
聚焦高端分子束外延（MBE）设备研发与产业化，致力于成为国际领先的MBE系统供应商、服务商，推动我国半导体核心装备自主可控，促进我国基础元器件、高端芯片和前沿材料的创新发展。
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NV-150型MBE系统
适用于6英寸以下的研发用户及小规模生产用户。
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NV-75型分子束外延系统
占地面积小，多种配置选择，为研发用户提供深度定制化方案。
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NV-400型分子束外延系统
适用于大规模量产用户，全自动线性传输，多生长室真空互联
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MBE+MOCVD集成解决方案
高端化合物半导体外延全面解决方案，解决部分高端器件难题，提升外延质量、效率和良率。
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