每一次艰难创新求索
都始于心中坚定信仰
心系“国家事”、肩扛“国家责”
48所广大科技工作者
不畏艰难，坚决攻克每个挑战
坚守初心，竭力追求精益求精
勇担重担，矢志科技自立自强
``` ```
今天是第七个全国科技工作者日
弘扬科学家精神
致敬，48所科技工作者！
从“门外汉”到第三代半导体领域的“智多星”，从普通一线研发工程师到获评国资委重大工程突出贡献个人、湖南省科技创新领军人才，48所巩小亮在半导体高端装备关键技术研发及产业化的赛道上，踔厉奋发，勇当技术创新先锋、奋力谱写青春韶华。
|
|
|
|
|
|
下定决心扎根半导体领域
“我在学校学的是集成电路芯片制造，了解到国内芯片发展还有较大空间。从那时起，我就下定决心，要深扎半导体领域，为国家科技自立自强贡献自己的力量。”巩小亮回忆入行初心说道。
2012年，巩小亮加入48所半导体装备国产化攻关项目团队，凭着对突破半导体关键装备国产化应用瓶颈额度一腔热血，他坚守研发一线，做到使用、试验、制造、安装的“四到现场”、研究、试验、设计、制造、检验、安装、使用的“七事一贯制”，积累了大量的科研经验。
“新制备的碳化硅外延层厚度和掺杂浓度还是不均匀！”这是巩小亮及其团队在6英寸碳化硅外延装备攻关过程中遇到的一道难关。面对技术挑战，他与团队成员从未气馁，通过将工艺研究与设备研发深度融合，以仿真研究、专项试验与工艺验证相结合的方式，坚持走正向设计与持续改进路线，在经历了上千炉次的工艺试验后，成功突破了碳化硅外延生长掺杂浓度均匀性、表面缺陷控制等难题，研制出的6英寸碳化硅外延装备在技术性方面成功对标国际先进，达到行业主流水平。面向用户产线大尺寸高质量碳化硅外延材料生产工艺需求，巩小亮及其团队打造出“设备+工艺”整体解决方案，快速实现了外延装备产业应用，创造了单型设备产值超6亿元的记录，荣获“2022年湖南省先进技术转化应用大赛一等奖”。
积极申报项目提升综合能力
当前，第三代半导体技术快速发展，巩小亮围绕国产第三代半导体装备局部成套和持续发展，积极推动第三代半导体装备科研项目申报立项。
“项目答辩书还要继续优化，但是距离项目申报已不足一周时间了。”某重大项目专题会议上，团队成员焦急地反馈。巩小亮冲锋在前、挑起重担，多方求教行业专家、收集辅助材料，最终完成了一份完善可行的项目答辩书，不仅成功争取项目落地，而且获得了现场答辩行业专家组的高度认可。
每一次迎向挑战的机会，巩小亮都会格外珍惜，“只有在把‘不可能’变为现实的过程中，才能感受到科研攻关的真谛，不断提升自己的水平。”无数次挑灯夜战，巩小亮带领团队实现了十余项国家重大工程以及湖南省科技重大专项等项目的落地与顺利验收。
团队的力量
“‘孤岛式’创新，这条路走不长。”秉承开放合作的理念，巩小亮深入第三代半导体行业前沿，挖掘技术发展趋势和装备需求特点，不断加深对行业的理解和对装备发展的认识。他和团队始终保持着与第三代半导体领域知名高校、科研院所、生产企业的技术互动，协同行业优势力量开展第三代半导体装备工程化技术研究，努力实现第三代半导体装备研发设计正向化、核心技术自主化、关键零部件国产化、制造集成智能化、装备工艺一体化，推动我国第三代半导体产业从“能用”到“好用”、从跟随到引领……
一份耕耘、一份收获，平凡的岗位、不凡的业绩。如今，巩小亮又将目光聚焦到8英寸碳化硅外延炉的研发上，他与团队将坚持不懈地在高端半导体装备自立自强的征程奋勇攀登、贡献力量。
