炉管产品线团队:咬定目标,聚力攻关

文章出处:原创 人气:1956 发表时间:2023-06-27
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炉管产品线班组是半导体装备研究部一支由二十余人组成的生力军,团队一直秉持“客户有需求、团队有响应”的工作理念。


在团队成员的协同合作及聚力攻关下,目前该团队已成功研发水平液相外延、6英寸和8英寸LPCVD立式炉、LPCVD卧式炉及激光封焊机等设备,相关设备均已在众多企业和院所产线中投入使用。

 

团队成员陈勇平、孙龙、杨浩辉为完成LPCVD卧式炉产品项目交付,第一时间奔赴客户现场,面对工艺指数出现偏差的困境,三人沉着应对,以“三班两倒”的工作模式轮班调试工艺参数,最终交出了一份满意的答卷,保障了该项目的顺利验收。

 

8英寸LPCVD立式炉在客户现场工艺调试过程出现故障时,团队轮流派遣技术人员前往客户现场驻厂,为确保工艺持续进行,团队成员在洁净间一待就是十几个小时,常常工作到凌晨。他们兢兢业业、细致入微,对设备可能存在的问题进行多次排查并提出切实有效的解决方案,成功保障了设备稳定运行,并得到了客户的高度认可。

 

一次次客户称赞和一次次设备交付的背后是整个团队的坚守与付出。炉管产品线全体成员将以“不破楼兰终不还”的毅力、“功成不必在我”的胸怀、“功成必定有我”的担当做好未来的各项工作,为48所建设国家半导体装备产业集聚区、打造国家第三代半导体成套装备解决方案首选供应商贡献技术力量。

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