湖南日报聚焦|发出第100台!国内首家离子注入机自研量产企业在湘诞生

文章出处:原创 人气:272 发表时间:2023-10-10
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“发车!”

 

今天上午,随着货车的平稳启动,中国电子科技集团公司第48研究所研发生产的第100台国产离子注入机发往用户,标志着国内首家离子注入机自研量产企业的诞生,也代表国产离子注入机已成功通过产业化考验。

 

“离子注入机是芯片制造中至关重要的核心设备之一,开发难度仅次于光刻机。”48所党委书记王平介绍,在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素,并按预定方式改变材料的电性能。离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备,使得元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中。

 

作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业,48所深耕离子束技术近60年,现已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系,量产的百台设备均广泛应用于国内各大集成电路先进产线,全面参与国产芯片制造的核心环节,累计流片超2000万。

 

王平表示,48所将继续扎根集成电路领域补链强链,提升我国芯片产业链供应链韧性和安全水平,并不断推动更多科研成果在湘实现转化和产业化,助力国家重要先进制造业高地和具有核心竞争力的科技创新高地建设。

 

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