2024年第一周，喜讯传来，48所SiC外延炉成功获评集团公司2023年度民品产业单项冠军！
外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉作为第三代半导体SiC器件制造的核心装备之一，其研制难度极大。
48所研发团队迎难而上，深挖技术资料，开展了大量基础研究和正向仿真设计，针对技术难题，夜以继日开展系统性实验，经过近三年的研制，第一台SiC外延炉样机顺利通过产线验证。在团队的不懈努力下，目前，6英寸SiC外延炉已成功出货近百台，产品和客户遍布全国各地，稳定的设备性能持续收获多个市场订单和客户好评。
48所始终坚持创新谋发展，不断攻克SiC外延炉的关键技术，持续推进装备技术创新和迭代升级，目前SiC外延炉攻关项目已申请发明专利20余项，发表论文3篇，软件著作权1项，制定行业标准2项。今年6月，团队最新研发的8英寸SiC外延炉精彩亮相2023上海国际半导体展览会，标志着国产第三代半导体专用核心装备正式迈入“8英寸时代”。
作为半导体装备“国家队”，48所将锚定分工定点，以实干创新引领保障高质量发展，为加快国家半导体装备产业集聚区建设、加速我国半导体装备国产化进程贡献科技力量。
