2024年第一周,喜讯传来,48所SiC外延炉成功获评集团公司2023年度民品产业单项冠军!
外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%,SiC外延炉作为第三代半导体SiC器件制造的核心装备之一,其研制难度极大。
48所研发团队迎难而上,深挖技术资料,开展了大量基础研究和正向仿真设计,针对技术难题,夜以继日开展系统性实验,经过近三年的研制,第一台SiC外延炉样机顺利通过产线验证。在团队的不懈努力下,目前,6英寸SiC外延炉已成功出货近百台,产品和客户遍布全国各地,稳定的设备性能持续收获多个市场订单和客户好评。
48所始终坚持创新谋发展,不断攻克SiC外延炉的关键技术,持续推进装备技术创新和迭代升级,目前SiC外延炉攻关项目已申请发明专利20余项,发表论文3篇,软件著作权1项,制定行业标准2项。今年6月,团队最新研发的8英寸SiC外延炉精彩亮相2023上海国际半导体展览会,标志着国产第三代半导体专用核心装备正式迈入“8英寸时代”。
作为半导体装备“国家队”,48所将锚定分工定点,以实干创新引领保障高质量发展,为加快国家半导体装备产业集聚区建设、加速我国半导体装备国产化进程贡献科技力量。