新年伊始，装载着SiC外延设备的三台大卡车在一声“发车”令下缓缓驶出园区，30台套SiC外延设备在10天内基本完成发货，这是48所开年来数量最多、规模最大的一次批量发货！
SiC外延设备作为第三代半导体SiC器件制造的核心关键设备之一，在整个产业链中起着承上启下的重要作用。为不断强化SiC外延设备的批量稳定生产，48所构建了一支研产服协同的专业团队，致力于提升设备性能和效率，实现更高良率和更低缺陷水平，稳步推进设备规模化和标准化制造。目前，该设备已成功出货百余台套，并在客户现场稳定运行。
此次SiC外延设备批量发货，是48所全力打造国家半导体装备产业集聚区的集中体现。后续，48所将持续提升产品质量和服务水平，打造更多行业单项冠军，为我国第三代半导体产业高质量发展贡献力量。
