新能源光伏装备
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RSP-6000 平板式PVD
- 产品简介
- 产品特点
- 技术参数
- 应用范围
- 膜块化设计，便于安装以及产能升级;
满足不同温度沉积ITO薄膜，工艺扩展性强;强控旋转阴极靶快速镀膜技术，靶材利用率高;分区加热和控温，具有出色的控温系统和控温性能。
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