NV-150型MBE系统

适用于6英寸以下的研发用户及小规模生产用户。

NV-75型分子束外延系..

占地面积小，多种配置选择，为研发用户提供深度定制化方案。

NV-400型分子束外延系..

适用于大规模量产用户，全自动线性传输，多生长室真空互联

MBE+MOCVD集成解决方..

高端化合物半导体外延全面解决方案，解决部分高端器件难题，提升外延质量、效率和良率。